ÖØÇì����Ԥ�� ÖØÇì��������ָ��
�ܱ���Ϣ

±ö¹Ý¾Æµê Èç¼Ò¿ì½Ý¾Æµê(ÖØÇìʯÇÅÆ̵ê) ÓêÁÖ±ö¹Ý ½ðº×±ö¹Ý °Ù¾ßÕдýËù ÖØÇìÎ÷ÑǾƵê Ôó±òÕдýËù(ÓåÖÝ·)

²ÍÒû·þÎñ ÄÏ·½»¨Ô°Ñ¼³¦Î廨԰µê ÀÏÊ÷¿§·È ×ÏÔÆÐù²èÂ¥±¾Í°ÐÝÏРСÑò¹Ý(ÄÏ·½»¨Ô°µê) Ö£ÖÓÀÏѼÌÀµê Æßׯ»ð¹ø³Ç

µØ²úСÇø ¸ÖÔË·¿²ú °Ù¿Æ´óÏà Ë붫»¨Ô°Á¢Ô´µØ ¿ÆÔ°¶þ½Ö ¿ÆÔ°Ò»½Ö ¿ÆÔ°ËÄ·

¹«Ë¾ÆóÒµ ÖØÇì´ó²ý·¿ÎÝ¿ª·¢ÊµÒµÓÐÏÞ¹«Ë¾ ÖØÇì½õïװÊÎÓÐÏÞ¹«Ë¾ ÈýÐŵç×ÓÓÐÏÞ¹«Ë¾ ÖØÇìÊÐÓêÁÖ¹ã¸æÓÐÏÞ¹«Ë¾ ºì¶¹¼Ò·Ä ÖØÇìÑÇ»ªÊ³Æ·ÓÐÏÞ¹«Ë¾

½»Í¨ÉèÊ© ÓåÖÝ· ÄÏ·½»¨Ô°C5ÇøÍ£³µ¿â ¿ÆÔ°Ò»½Ö ¿ÆÔ°¶þ½Ö ¿ÆÔ°Îå· ¿ÆÔ°4·-ÓåÖÞ··¿Ú

½ðÈÚÐÐÒµ ¹¤ÐпÆÔ°·ÖÀí´¦ ÖÐÐÐATM ÖйúÒøÐиßÐÂÇø·ÖÀí´¦ ¹¤ÉÌÒøÐÐÖØÇìÊзÖÐи߿Ƽ¼Ö§ÐпÆÔ°·ÖÀí´¦ ÖйúÒøÐÐÖØÇìɳƺ°ÓÖ§ÐпÆ԰··ÖÀí´¦ Éú·¢µäµ±

ÂÃÓξ°µã ¿Æ¼¼»áÕ¹ÖÐÐÄ ÖØÇ쾯²ì²©Îï¹Ý

ÆäËüÀàÐÍ ÄÌBB³èÎïµê

Æû³µ·þÎñ ¹ãÖݱ¾ÌïÆû³µÐÂÑÇÌØÔ¼ÏúÊÛ·þÎñµê ˳ÔóÆû³µÃÀÈÝ·þÎñÖÐÐÄ ½ð·»Æû³µÃÀÈÝ ¸£À×ÃÉÆû³µÃÀÈÝÖÐÐÄ ·áÈðÌØÔ¼·þÎñÕ¾ ÖØÇìÖÐÆû¿Í³µÆû³µ×âÁÞ¹«Ë¾

ÉÌÎñ´óÏà ÕÑ»ª´óÏÃ(ÖØÇì) ËÄ´ï´óÏÃ(ÖØÇì) °Ù¿Æ´óÏÃ(ÖØÇì)

ÎÄ»¯½ÌÓý ºéÑô¼ÝУ ÄÏ·½Ë«ÓïÓ׶ùÔ° ÆôÃ÷Ó׶ùÔ° ÈýÏ¿ÁªºÏÖ°Òµ´óѧ ÖØÇì΢ϵͳ(MEMS)¿Æ¼¼¹É·ÝÓÐÏÞ¹«Ë¾ ÖØÇìÉúÎïÉú»¯ÖÆÒ©¼¼Êõ¿ª·¢Ô°

ÐÝÏÐÓéÀÖ ÐÇÍøÑÛÍø°É Õæ°®¾Æ°É ³ÇÊÐÁ÷ÐаñÃÀ·¢ÖÐÐÄ ÐÇöÎÍø°É ¾«ÊÖÖ¸º«¹úºÃÌÀȾ¾ãÀÖ²¿ ¿µ½¡Ã¤ÈË°´Ä¦Ôº

Ò½ÁÆÎÀÉú ÄÏ·½×ÛºÏÃÅÕï È«·¢´óÒ©·¿¸ßÐÂÇøÌÚ·ÉÒ©µê ÍòºÍ´óÒ©·¿³¬ÊÐ ºÍƽҩ·¿ÄÏ·½»¨Ô°Á¬Ëøµê ʱÕä¸ó ÖØÇìÒ½Ò©¹«Ë¾ºÍƽҩ·¿ÄÏ·½»¨Ô°Á¬Ëø¶þµê

ÓÊÕþµçÐÅ ÖйúÒƶ¯Í¨ÐÅÄÏ·½»¨Ô°AÇøÓªÒµµãÐÄÁ¬ÐÄ¿Í»§·þÎñÖÐÐÄ Ð­ÏíÒƶ¯Í¨ÐÅÒƶ¯µç»°ÐªÌ¨×ÓÓªÒµÌü ÖйúÒƶ¯Í¨ÐÅÖØÇìͨÐÅ·þÎñ¹«Ë¾ ÖйúÒƶ¯ÖØÇìÒƶ¯Í¨ÐÅÓÐÏÞÔðÈι«Ë¾ ÖйúÒƶ¯Í¨ÐÅÖØÇ컥ÁªÍøÊý¾ÝÖÐÐÄ ÖØÇìÒƶ¯Í¨ÐŹ«Ë¾

Ô˶¯³¡¹Ý ×ðÈݸ߶û·ò ͬ´´°ÂÍøÖÐÐÄ£¨ÖØÇ죩 ÍøÇò³¡

Õþ¸®»ú¹Ø »¯Ñ§¹¤³Ì¼¼Êõ²©Ê¿ºó¿ÆÑÐÁ÷¶¯Õ¾ ÖØÇìÊеçÁ¦¹«Ë¾Ñî¼Òƺ¹©µç¾Ö³Â¼Òƺ±äµçÕ¾ ÖØÇìÊн»Í¨Õ÷·Ñ»ü²é¾Ö»ü²é×Ü¶Ó ÖØÇìÊй«°²¾Ö¸ßм¼Êõ²úÒµ¿ª·¢Çø·Ö¾Ö ½»Í¨¹ÜÀíËù ½»Í¨¹ÜÀí¾Ö

×ÛºÏÉ̳¡ ¸´Ó¡µê ±´°¢¿¨¾«Æ··þÊÎ °ÂÂõÖ½Òµ ±´°¢¿¨(·þ×°µê) ½ðÑó±£½¡ ˳ð²»Ðâ¸Ö