ÖØÇì����Ԥ�� ÖØÇì��������ָ��
�ܱ���Ϣ

±ö¹Ý¾Æµê ÄÏ·½»¨Ô°¾Æµê£¨ÖØÇ죩 ÄÏ·½¾ýÁپƵê(ÖØÇì) »ªÓîÕдýËù Éê»ùË÷·ÆÌØ´ó¾Æµê ÆûÑÐÕдýËù

²ÍÒû·þÎñ öμǴóÅŵµ ¼Ò½ð¾Ó·çζ¥ »Ø¿Ú¾ÓѼ²±×Ó ÂÞºº·Ê³¦ ÕäÕäÀ¼²è¶¹»¨¹Ý ÕÅ¿ÚÃæ

µØ²úСÇø ÖØÇì¸ßм¼Êõ¿ª·¢Çø °²È«ÎÄÃ÷СÇø ¿ÆÔ°¶þ½Ö ¿ÆÔ°ËÄ· Óå¸ßÎïÒµ¸ßÐÂÇø±ê×¼³§·¿ ÄÏ·½ÐÇ¿Õ

¹«Ë¾ÆóÒµ »ªÓÍÅ ÎåÁèÆû³µ×¨Óªµê ÖØÇì½ð¿×ȸ°ì¹«É豸ÓÐÏÞ¹«Ë¾ ¾«Í¨¼¯ÍÅ ÖØÇìºêÒµ¸øÅÅË®É豸ÖÆÔ칫˾ ÖØÇìÈó»ªÓ°ÊÓÎÄ»¯ÓÐÏÞ¹«Ë¾

½»Í¨ÉèÊ© ¿ÆÔ°ËÄ· ÄÏ·½»¨Ô°BÇøÍ£³µ¿â ³¯Ñî´å ¿ÆÔ°3½Ö-ÄÏ·½»¨Ô°¾Æµê·¿Ú ¿ÆÔ°Ò»½Ö ¿ÆÔ°¶þ½Ö

½ðÈÚÐÐÒµ ÉϺ£ÆÖ¶«·¢Õ¹ÒøÐÐ(¸ßÐÂÇøÖ§ÐÐ) ÆÖ·¢ÒøÐиßÐÂÇøÖ§ÐÐ Å©´åÐÅÓÃÉçATM ÖйúÐźÏATM ½»Í¨ÒøÐÐATMÈ¡¿î»ú Å©ÒµÒøÐоÅÁúÆÂÖ§Ðг¼Òƺ·ÖÀí´¦

ÂÃÓξ°µã ¿Æ¼¼»áÕ¹ÖÐÐÄ ÖØÇ쾯²ì²©Îï¹Ý

ÆäËüÀàÐÍ Â¡öÎÎïÁ÷Êг¡ ÄÌBB³èÎïµê ɳɳȮҵ

Æû³µ·þÎñ Öé·åÆû³µ³Ç ÁÔ±ªÆû³µÖØÇìÒ«ÆæרÂôµê ÎåÁâÆû³µÖØÇìËÄ·½Æûó ¸£À×ÃÉÆû³µÃÀÈÝÖÐÐÄ ½ð¸Õ¿Æ¼¼·¢Õ¹ÓÐÏÞ¹«Ë¾ ˹´ïÑÇÆû³µÁ¬ËøÏúÊÛ¹«Ë¾

ÉÌÎñ´óÏà Æû³µ¼¼ÊõÕ¹ÀÀ½»Á÷ÖÐÐÄ(ÖØÇì) ¹ú¼Ê»áÕ¹ÖÐÐÄ ÖØÇìµçÐÅʵҵ´óÏà ÖØÇìÕ¹ÀÀÖÐÐÄ

ÎÄ»¯½ÌÓý É­ÁÖСѧ ¸ßÐÂÇø¿ÆÒÕÓ׶ùÔ° ¾ÅÁúÆÂÇøͼÊé¹Ý(ÖØÇì) ͯÐÄÒÕÊõÔ· ÖØÇìÉúÎïÉú»¯ÖÆÒ©¼¼Êõ¿ª·¢Ô° ÖØÇì΢ϵͳ(MEMS)¿Æ¼¼¹É·ÝÓÐÏÞ¹«Ë¾

ÐÝÏÐÓéÀÖ ÐÂÐÇÄÏÓéÀÖ³Ç °Ù±ä·¢ÒÕɳÁú ÉÐÃÀ·¢ÒÕ °Ë°Û°éº«Ê½½¡ÉíÖÐÐÄ ½ð÷ë±£½¡ÖÐÐÄ Ì챦ҹ×Ü»á

Ò½ÁÆÎÀÉú ÎľüÃÅÕï ²ýÒ°Ò©·¿ »ª²©½¡¿µÒ©·¿Ðªºǫ́×ÓÁ¬Ëø »ªÎ÷¿ÚÇ»ÖØÇìÃÅÕï ÄÏ·½×ÛºÏÃÅÕï ²ýÒ°Ò©·¿¸ßÐÂÇøÖª¼ºÒ©µê

ÓÊÕþµçÐÅ ÖйúÁªÍ¨¸ßеÄÇø×ÛºÏÓªÒµÌü ÖйúÒƶ¯Í¨ÐÅÖØÇ컥ÁªÍøÊý¾ÝÖÐÐÄ Ìį̀ÏçÓÊÕþËù ÖйúÁªÍ¨ÄÏ·½»¨Ô°ÓªÒµÌü ÖйúÒƶ¯Í¨ÐÅ ÖйúÁªÍ¨¸ßÐÂÇø×ÛºÏÓªÒµÌü

Ô˶¯³¡¹Ý ±±º£µÀ½¡ÉíÐÝÏлáËù ͬ´´°ÂÍøÖÐÐÄ£¨ÖØÇ죩 ÍøÇò³¡ ×ðÈݸ߶û·ò

Õþ¸®»ú¹Ø ÖØÇìÊн»Í¨Õ÷·Ñ»ü²é¾Ö»ü²é×Ü¶Ó ÏÃÃÅÕýÐÂÏ𽺹¤ÒµÓÐÏÞ¹«Ë¾ÖØÇì°ìÊ´¦ ½»Í¨»ü²é¾Ö ÊÐÆøÏó¾Ö ÖØÇìÊй«°²¾Ö¸ßм¼Êõ²úÆ·¿ª·¢Çø¹«°²´¦ ÖØÇìÊйúË°¾Ö³µÁ¾¹ºÖÃË°Õ÷ÊÕ·Ö¾Ö

×ÛºÏÉ̳¡ ÄÏ·½ÏãÑÌרÂô ÖØÇì´óÐÛ¾­Ã³ÊµÒµÓÐÏÞ¹«Ë¾ ¹âÃ÷ÈéÒµ ÒæÉúÄÌÀÒÓÀÉú¸±Ê³µê AE·þ×°µê ´¨µº¸ÉÏ´Á¬Ëø