ÖØÇì����Ԥ�� ÖØÇì��������ָ��
�ܱ���Ϣ

±ö¹Ý¾Æµê ÄÏ·½¾ýÁپƵê(ÖØÇì) »ªÓîÕдýËù ÆûÑÐÕдýËù Éê»ùË÷·ÆÌØ´ó¾Æµê

²ÍÒû·þÎñ ÂÞÂí¼ÙÈÕ »¥¶¯µØ´ø¾Æ°É ÖñÁÖÓ㸮 ½ðÓêÐùÎ÷²Í²è·» ÄÏ·½Éղ˴óÅŵµ ±±¶ÉÓãºÓÏʹݿÆÔ°¶þ½Öµê

µØ²úСÇø ¿¤¶¼²ÊÉá(ÖØÇì) ÐÇÔÏÔ· ³¯ÑôËļ¾»¨Óï ¿ÆÔ°¶þ½Ö ÆûÑдóÏà îÚµÂÔ·(ÖØÇì)

¹«Ë¾ÆóÒµ ÖØÇ컪ÓîÎïÒµ(¼¯ÍÅ)ÓÐÏÞ¹«Ë¾ ÖØÇì³Ç·á×°ÊÎÉè¼Æ¹¤³ÌÓÐÏÞ¹«Ë¾ UT˹´ï¿µÖØÇìͨѶ¹«Ë¾ ¹óÑÐÆû³µ¾»»¯Æ÷ÓÐÏÞÔðÈι«Ë¾ ÖйúÁªÍ¨ÖØÇì·Ö¹«Ë¾ ÖØÇì¿­ÈðÌØÖÖ³µÖÆÔ쳧

½»Í¨ÉèÊ© ¿ÆÁÖ· ¿ÆÔ°¶þ½Ö ¿ÆÔ°ËÄ· ¿ÆÔ°ËÄ·¿Ú[Ë÷·ÆÌؾƵê] ³¯Ñî´å ¸ßÐÂÇø

½ðÈÚÐÐÒµ Å©´åÐÅÓÃÉçATM Å©ÒµÒøÐоÅÁúÆÂÖ§Ðг¼Òƺ·ÖÀí´¦ Öйú̫ƽÑó²Æ²ú·ÇÊÙÏչɷÝÓÐÏÞ¹«Ë¾ÖØÇì·Ö¹«Ë¾¸ßÐÂÖ§¹«Ë¾ Å©´åÐÅÓÃÉ绨԰··ÖÉç ÉϺ£ÆÖ¶«·¢Õ¹ÒøÐÐ(¸ßÐÂÇøÖ§ÐÐ) ÖйúÐźÏÖØÇìÊоÅÁúÆÂÇøʯÇÅÅ©´åÐÅÓÃÉ绨԰··ÖÉç

ÂÃÓξ°µã ¿Æ¼¼»áÕ¹ÖÐÐÄ

ÆäËüÀàÐÍ Â¡öÎÎïÁ÷Êг¡

Æû³µ·þÎñ ÖØÇìÆû³µÑо¿ËùÕдýËù ¹ãÖݱ¾ÌïÆû³µÐÂÑÇÌØÔ¼ÏúÊÛ·þÎñµê ÎåÁâÆû³µÖØÇìËÄ·½Æûó ÖØÇìÉÌÉçÆû³µÃ³Ò×ÓÐÏÞ¹«Ë¾(Ò»Æû´óÖÚ) ÖØÇìÐÂÑÇÆû³µÏúÊÛ·þÎñÓÐÏÞ¹«Ë¾ ÖØÇìÐÂÀï³Ì³µ¾ãÀÖ²¿

ÉÌÎñ´óÏà ÖØÇìµçÐÅʵҵ´óÏà ¹ú¼Ê»áÕ¹ÖÐÐÄ ÖØÇìÕ¹ÀÀÖÐÐÄ Æû³µ¼¼ÊõÕ¹ÀÀ½»Á÷ÖÐÐÄ(ÖØÇì)

ÎÄ»¯½ÌÓý ÖØÇì΢ϵͳ(MEMS)¿Æ¼¼¹É·ÝÓÐÏÞ¹«Ë¾ ÖØÇìÍâ¹úÓïѧУɭÁÖСѧ É­ÁÖСѧ ÄÏ·½Ë«ÓïÓ׶ùÔ° ÖØÇìÎ÷ÄÏ·þ×°ÒÕÊõѧУ Î÷ÄÏ°à·¨´óѧ¼ÝÊ»ÅàѵѧУ

ÐÝÏÐÓéÀÖ ½ð×ãÀÖ(Ï´½Å) Ì챦ҹ×Ü»á Ìì×ãÌà °Ë°Û°éº«Ê½½¡ÉíÖÐÐÄ ö¦Å®µºÏ´½Å³Ç(¿ÆÔ°ËÄ·µê) ½ð÷ë±£½¡ÖÐÐÄ

Ò½ÁÆÎÀÉú ÓåÁÖÕïËù Í©¾ý¸ó´óÒ©·¿ µÂÉúÒ½Ôº

ÓÊÕþµçÐÅ ÖйúÒƶ¯Í¨ÐÅÖØÇ컥ÁªÍøÊý¾ÝÖÐÐÄ Ìį̀ÏçÓÊÕþËù ÖйúÁªÍ¨¸ßÐÂÇø×ÛºÏÓªÒµÌü ÖйúÁªÍ¨¸ßеÄÇø×ÛºÏÓªÒµÌü ÖйúÒƶ¯Í¨ÐÅ

Ô˶¯³¡¹Ý ÍøÇò³¡ ͬ´´°ÂÍøÖÐÐÄ£¨ÖØÇ죩 ×ðÈݸ߶û·ò

Õþ¸®»ú¹Ø ÊÐÆøÏó¾Ö ÖØÇìÊй«°²¾Ö¸ßм¼Êõ²úÆ·¿ª·¢Çø¹«°²´¦ ÖØÇìÊеçÁ¦¹«Ë¾Ñî¼Òƺ¹©µç¾Ö³Â¼Òƺ±äµçÕ¾ ÖØÇì·ÀÀ×ÖÐÐÄ

×ÛºÏÉ̳¡ ÖØÇìËÄ·½Æû³µÃ³Ò×ÓÐÏÞ¹«Ë¾ÎåÁâÆû³µ×¨Óªµê ÖØÇì±±·½Æû³µÏúÊÛ¹«Ë¾ ÉîÛÚÊк£´¨ÊµÒµ¹É·ÝÓÐÏÞ¹«Ë¾·Ö¹«Ë¾ eÍø¿Æ¼¼ Öǽܽ¨²ÄÓÐÏÞ¹«Ë¾ ÌÚîÒÑŹ¤Òµ()ÓÐÏÞ¹«Ë¾