ÖØÇì����Ԥ�� ÖØÇì��������ָ��
�ܱ���Ϣ

±ö¹Ý¾Æµê ÓåäÁÂÃ¹Ý ÆûÑÐÕдýËù ½ð®¾ÆÂ¥ ÐË¿­±ö¹Ý Éê»ùË÷·ÆÌØ´ó¾Æµê ÖØÇìÓåÖÝÓ¡Îñ³§ÈÙ´ºÕдýËù

²ÍÒû·þÎñ ÇØÂè»ð¹ø(ÄÏ·½»¨Ô°µê) ÌÕÈ»¾Ó ÀÏѼÌÀʯÑî·µê Ö£¼Çôë½­±±¶ÉÓã ÌÕÈ»¾Ó(ÄÏ·½»¨Ô°µê) Üø²è¿§·È

µØ²úСÇø ÉðµÛ´óÏà Ъ̨×Ó´å Îľ°Ô· ºÍƽÉÌÎñ´óÏà µÛºÀÃû¶¼(ÖØÇì) ´ï·ÉÂÌÖÞ

¹«Ë¾ÆóÒµ ÓåºÏ»úµçÓÐÏÞ¹«Ë¾ ÖØÇì¼×¶à¹«Â·Éè¼Æ×ÉѯÓÐÏÞ¹«Ë¾ ¹ãÖÝÊÐÒæÑïóÒ×ÓÐÏÞ¹«Ë¾ ÖØÇìÊÐÀʺ㹤óÓÐÏÞ¹«Ë¾ ¼ªÔµÓ¡Îñ º£ÍõÐÇÕëÖ¯³§

½»Í¨ÉèÊ© л³Â· Æû³µÎ÷Õ¾ ÌÕÈ»¾ÓÍ£³µ³¡ Ì챦Æû³µÔËÊ乫˾ ³Â¼Òƺ ÖØÇ컪´ïÔËÊäÓÐÏÞ¹«Ë¾

½ðÈÚÐÐÒµ ÃñÉúÒøÐÐATM»ú(¿ÆÔ°Èý·) ½¨ÐÐATM ½¨ÐÐATM»ú(³¯Ìï´å) ½¨Ðг¼Òƺ·ÖÀí´¦ ¹¤ÉÌÒøÐг¼Òƺ´¢ÐîËù Å©´åÐÅÓÃÉç³Â¼Òƺ·ÖÉç

ÂÃÓξ°µã ¿Æ¼¼»áÕ¹ÖÐÐÄ

Æû³µ·þÎñ Öé·åÆû³µ³Ç ÖØÇìÓ嶼·áÌïÆû³µÏúÊÛ·þÎñÓÐÏÞ¹«Ë¾ ÁÔ±ªÆû³µÖØÇìÒ«ÆæרÂôµê »ªÎ°Æû³µÔËÊäÓÐÏÞ¹«Ë¾Æû³µÐÞÀí³§ ʯÇżÓÓÍÕ¾ ÎÒ°®ÎÒ³µÆû³µÃÀÈÝ

ÉÌÎñ´óÏà ºÍƽÉÌÎñ´óÏÃ(ÖØÇì) ¹ú¼Ê»áÕ¹ÖÐÐÄ Æû³µ¼¼ÊõÕ¹ÀÀ½»Á÷ÖÐÐÄ(ÖØÇì) ÖØÇìÕ¹ÀÀÖÐÐÄ ÖØÇìµçÐÅʵҵ´óÏà ÉðµÛ´óÏã¨ÖØÇ죩

ÎÄ»¯½ÌÓý ¾ÛÓ¢¼¼¹¤Ñ§Ð£ ÖØÇì΢ϵͳ(MEMS)¿Æ¼¼¹É·ÝÓÐÏÞ¹«Ë¾ ¸ßÐÂÇø³Â¼ÒƺСѧ ÖØÇìÈÈˮƿ×ܳ§Ó׶ùÔ° ÈÈˮƿ³§×ÓµÜѧУ ÑàÌìË«ÓïÓ׶ùÔ°

ÐÝÏÐÓéÀÖ ±±º£µÀ×ãÔ¡ÐÝÏлáËù ÐùÏé¸ó²èÂ¥ Ãû·¢Ðù °²¿µÌ÷ö·ôÖÐÐÄ Ç¬Áú¸ó×ãÔ¡³Ç ÐÂÎÞÃûÃÀÈÝÃÀ·¢

Ò½ÁÆÎÀÉú ³¤´ºÌÆÉ£Äñ£½¡ Ì©ÒêÕïËù öÎöÎÒ½Ôº(ÖØÇì) ÖØÇì¸ßÐÂÇøºìÊ®×Ö¼±¾ÈÕ¾ ½¡¿µÕïËù ÐÜÒ½ÉúÕïËù(ʯÑî·)

ÓÊÕþµçÐÅ ÖйúÒƶ¯Í¨ÐÅÖØÇ컥ÁªÍøÊý¾ÝÖÐÐÄ Ìį̀ÏçÓÊÕþËù ³Â¼ÒƺÓÊÕþËù ÖØÇìµçÐÅÓªÒµ¾Ö°²×°µç»°ÊÜÀí´¦

Õþ¸®»ú¹Ø ÖØÇìÊй«°²½»Í¨¹ÜÀíµÚÊ®°ËÖ§¶Ó ÖØÇì·ÀÀ×ÖÐÐÄ ÏÃÃÅÕýÐÂÏ𽺹¤ÒµÓÐÏÞ¹«Ë¾ÖØÇì°ìÊ´¦ ÊÐÆøÏó¾Ö ÖØÇìÊеçÁ¦¹«Ë¾Ñî¼Òƺ¹©µç¾Ö³Â¼Òƺ±äµçÕ¾ ËÄ´¨Ê¡ÃÞÂ鹫˾ÖØÇì°ìÊ´¦

×ÛºÏÉ̳¡ öΡÑ̾Ʋè ÂåÑôÖá³ÐÓÐÏÞ¹«Ë¾ÖØÇìÖ±Ïú´¦ ÍòöÎÒ©·¿¸ßÐÂÇøÏéÊéÒ©·¿ ÌìÓÑÈéҵʯÑî··þÎñÖÐÐÄ ³Â¼ÒƺÑàɽ³¬ÊÐ ÖØÇìÃ÷ÐÇ´óÒ©·¿