ÖØÇì����Ԥ�� ÖØÇì��������ָ��
�ܱ���Ϣ

±ö¹Ý¾Æµê ½ð®¾ÆÂ¥ ÄÏ·½¾ýÁپƵê(ÖØÇì) »ªÓîÕдýËù ÓåäÁÂÃ¹Ý ÌÒ»¨Ô°×¡ËÞÕдýËù ÖØÇìÓåÖÝÓ¡Îñ³§ÈÙ´ºÕдýËù

²ÍÒû·þÎñ ÃÀÁª³ø»ð¹ø(´ó¹«¹Ýµê) ÀÏѼÌÀʯÑî·µê ÇØÂè»ð¹ø Ö£¼Çôë½­±±¶ÉÓã Î÷Êñ´ó¾ÆÂ¥ Î÷ÊñÈ˼Ò

µØ²úСÇø ºÍƽÉÌÎñ´óÏà ³Â¼ÒƺÁ¢½»ÇÅ ÄÏ·½»¨Ô°EÇø Îľ°Ô· ÉðµÛ´óÏà һ³Çнç(ÖØÇì)

¹«Ë¾ÆóÒµ ÖØÇìÊÐÀʺ㹤óÓÐÏÞ¹«Ë¾ ÃñÐÀË®Îñ ÖØÇì¼×¶à¹«Â·Éè¼Æ×ÉѯÓÐÏÞ¹«Ë¾ µ¤·½ÃÀÊõÉè¼ÆÖÐÐÄ ÖØÇì³Ð·å¹«Ë¾ ÓåºÏ»úµçÓÐÏÞ¹«Ë¾

½»Í¨ÉèÊ© ³Â¼Òƺ ÖØÇ컪´ïÔËÊäÓÐÏÞ¹«Ë¾ ³Â¼ÒƺÆû³µÕ¾ Ì챦Æû³µÔËÊ乫˾ ¾ÓÃñÂ¥³µ¿â ÌÕÈ»¾ÓÍ£³µ³¡

½ðÈÚÐÐÒµ Å©´åÐÅÓÃÉç³Â¼Òƺ·ÖÉç Öйú¹â´óÒøÐÐÖØÇìÊзÖÐиßÐÂÖ§ÐÐ ÃñÉúÒøÐÐÖØÇì¸ßÐÂÇøÖ§ÐÐ ÖйúÐźϳ¼Òƺ·ÖÐÐ ÃñÉúÒøÐиßÐÂÖ§ÐÐ ³Â¼ÒƺÐÅÓÃÉç

ÂÃÓξ°µã ¿Æ¼¼»áÕ¹ÖÐÐÄ

Æû³µ·þÎñ ÖØÇì·áÌïÆû³µÎ¬ÐÞ·þÎñÓÐÏÞ¹«Ë¾ ¸»¾üÆû³µÐÞÀí³§ ʯÇżÓÓÍÕ¾ »ªÎ°Æû³µÔËÊäÓÐÏÞ¹«Ë¾Æû³µÐÞÀí³§ ³¤°²ÁåľÆû³µÖØÇìÌ©Èð4Sµê ÁÔ±ªÆû³µÖØÇìÒ«ÆæרÂôµê

ÉÌÎñ´óÏà Æû³µ¼¼ÊõÕ¹ÀÀ½»Á÷ÖÐÐÄ(ÖØÇì) ½ð¹Ú´óÏÃ(ÖØÇì) ºÍƽÉÌÎñ´óÏÃ(ÖØÇì) ÖØÇìµçÐÅʵҵ´óÏà ÉðµÛ´óÏã¨ÖØÇ죩 ¹ú¼Ê»áÕ¹ÖÐÐÄ

ÎÄ»¯½ÌÓý ÈÈˮƿ³§×ÓµÜѧУ ¾ÛÓ¢¼¼¹¤Ñ§Ð£ ÖØÇì¿ÆÁú¼ÆËã»úѧУ ¸ßÐÂÇø³Â¼ÒƺСѧ ÖØÇìÊÐÆû³µÑо¿Ëù ÖØÇì΢ϵͳ(MEMS)¿Æ¼¼¹É·ÝÓÐÏÞ¹«Ë¾

ÐÝÏÐÓéÀÖ ±±º£µÀ×ãÔ¡ÐÝÏлáËù ÐÂÎÞÃûÃÀÈÝÃÀ·¢ СƼÃÀÈÝÃÀ·¢ÖÐÐÄ ÐùÏé¸ó²èÂ¥ Ãû·¢Ðù ½ðÉ«¸ÛÍå²èÂ¥

Ò½ÁÆÎÀÉú ÖØÇì¸ßÐÂÇøºìÊ®×Ö¼±¾ÈÕ¾ ¿ÆÔ°ÕïËù ½¡¿µÕïËù ÐÜÒ½ÉúÕïËù(ʯÑî·) ³¤´ºÌÆÉ£Äñ£½¡ öÎöÎÒ½Ôº(ÖØÇì)

ÓÊÕþµçÐÅ Ìį̀ÏçÓÊÕþËù ÖØÇìµçÐÅÓªÒµ¾Ö°²×°µç»°ÊÜÀí´¦ ³Â¼ÒƺÓÊÕþËù ÖйúÒƶ¯Í¨ÐÅÖØÇ컥ÁªÍøÊý¾ÝÖÐÐÄ

Õþ¸®»ú¹Ø ºìÆ칫Éç ÖØÇìÊй«°²½»Í¨¹ÜÀíµÚÊ®°ËÖ§¶Ó ÖØÇìÊеçÁ¦¹«Ë¾Ñî¼Òƺ¹©µç¾Ö³Â¼Òƺ±äµçÕ¾ ÏÃÃÅÕýÐÂÏ𽺹¤ÒµÓÐÏÞ¹«Ë¾ÖØÇì°ìÊ´¦ ÊÐÆøÏó¾Ö ËÄ´¨Ê¡ÃÞÂ鹫˾ÖØÇì°ìÊ´¦

×ÛºÏÉ̳¡ °ÙÒ»³¬ÊÐ ºÍƽҩ·¿³Â¼Òƺµê öΡÑ̾Ʋè Äý¾ÛÁ¦°Ù»õÖÐÐÄ ¹óÑôÖá³Ð³§ÖØÇì¾­Ïú´¦ ÌìÓÑÈéҵʯÑî··þÎñÖÐÐÄ