ÖØÇì����Ԥ�� ÖØÇì��������ָ��
�ܱ���Ϣ

±ö¹Ý¾Æµê Èç¼Ò¿ì½Ý¾Æµê(ÖØÇìʯÇÅÆ̵ê) ÖØÇìÎ÷ÑǾƵê ÄÏ·½¾ýÁپƵê(ÖØÇì) Ôó±òÕдýËù(ÓåÖÝ·) ÓêÁÖ±ö¹Ý ½ðº×±ö¹Ý

²ÍÒû·þÎñ ·Ê³¦¹Ý´óÅŵµ ÀÏÂè¼Ò³£²Ë ²ÊµçÃæ(Á¬Ëø) ²ÊµçÃæׯ(¿ÆÔ°µê) ²à¶ú¸ù¿¾Óã ÀÏÏç·çζׯ

µØ²úСÇø ˳³Û²»¶¯²ú¿ÆÔ°ËÄ·µê ÖØÇì¸ßм¼Êõ¿ª·¢Çø Òø°²»¨Ô°Ð¡Çø ¿ÆÔ°¶þ½Ö ¸ÖÔË·¿²ú ¿ÆÔ°ËÄ·

¹«Ë¾ÆóÒµ ÖØÇì¿­ÈðÌØÖÖ³µÖÆÔ쳧 ÖØÇìÒæÈÊ»úµçÉ豸ÓÐÏÞ¹«Ë¾ ¹óÑÐÆû³µ¾»»¯Æ÷ÓÐÏÞÔðÈι«Ë¾ ÖйúÁªÍ¨ÖØÇì·Ö¹«Ë¾ ɽ¶«·ò³É·§ÃÅÖÆÔìÓÐÏÞ¹«Ë¾ ´óÓí¹ã¸æ²ß»®ÓÐÏÞ¹«Ë¾

½»Í¨ÉèÊ© ¿ÆÔ°4·-ÓåÖÞ··¿Ú ¿ÆÔ°ËÄ· ¿ÆÔ°ËÄ·¿Ú[Ë÷·ÆÌؾƵê] ¸ßÐÂÇø ¾ýÁپƵêÍ£³µ¿â ÄÏ·½»¨Ô°BÇøÍ£³µ¿â

½ðÈÚÐÐÒµ ½»Í¨ÒøÐÐATM»ú(ÓåÖÝ·)(1) ÖйúÐźÏÖØÇìÊоÅÁúÆÂÇøʯÇÅÅ©´åÐÅÓÃÉ绨԰··ÖÉç Å©´åÐÅÓÃÉ绨԰··ÖÉç ÖØÇìÉÌÒµÒøÐÐATM»ú ÖйúÐźÏATM Å©´åÐÅÓÃÉçATM

ÂÃÓξ°µã ¿Æ¼¼»áÕ¹ÖÐÐÄ ÖØÇ쾯²ì²©Îï¹Ý

ÆäËüÀàÐÍ ÄÌBB³èÎïµê

Æû³µ·þÎñ ½ð¸Õ¿Æ¼¼·¢Õ¹ÓÐÏÞ¹«Ë¾ ÖØÇìÖÐÆû¿Í³µÆû³µ×âÁÞ¹«Ë¾ ·áÈðÌØÔ¼·þÎñÕ¾ ÓÑÒêÆûÐÞ ÁÔ±ªÆû³µÖØÇìÒ«ÆæרÂôµê ¶¦»ÔÆû³µÈ¼ÆøϵͳÓÐÏÞ¹«Ë¾

ÉÌÎñ´óÏà ÖØÇìÕ¹ÀÀÖÐÐÄ °Ù¿Æ´óÏÃ(ÖØÇì) Æû³µ¼¼ÊõÕ¹ÀÀ½»Á÷ÖÐÐÄ(ÖØÇì) ÕÑ»ª´óÏÃ(ÖØÇì) ¹ú¼Ê»áÕ¹ÖÐÐÄ ËÄ´ï´óÏÃ(ÖØÇì)

ÎÄ»¯½ÌÓý ¸ßÐÂÇø¿ÆÒÕÓ׶ùÔ° ÖØÇìÉúÎïÉú»¯ÖÆÒ©¼¼Êõ¿ª·¢Ô° ÆôÃ÷Ó׶ùÔ° ÖØÇì΢ϵͳ(MEMS)¿Æ¼¼¹É·ÝÓÐÏÞ¹«Ë¾ ÄÏ·½Ë«ÓïÓ׶ùÔ° ºéÑô¼ÝУ

ÐÝÏÐÓéÀÖ ¿¥ÂíÌÃÔ¡×ã À¶ÔÂÑÀÃÀ·¢°´Ä¦ Óö¼û°É ÄÏ·½Ã¤ÈË°´Ä¦ Óö¼û½»ÓѾãÀÖ²¿ Ô¡×㰴Ħµê

Ò½ÁÆÎÀÉú »ªÎ÷¿ÚÇ»ÖØÇìÃÅÕï µÂÉúÒ½Ôº ʱÕä¸ó ÎľüÃÅÕï ʱÕä¸óÁ¬Ëø´óÒ©·¿µÚÒ»·Öµê Ì©ºÍÌÃ

ÓÊÕþµçÐÅ ÖйúÒƶ¯ÖØÇìÒƶ¯Í¨ÐÅÓÐÏÞÔðÈι«Ë¾ ÖйúÓÊÕþÛþɽԷÓÊÕþËù ÖйúÁªÍ¨¸ßеÄÇø×ÛºÏÓªÒµÌü ÖйúÒƶ¯Í¨ÐÅÖØÇ컥ÁªÍøÊý¾ÝÖÐÐÄ ÖйúÒƶ¯Í¨ÐÅÖØÇìͨÐÅ·þÎñ¹«Ë¾ ÖØÇìÒƶ¯Í¨ÐŹ«Ë¾

Ô˶¯³¡¹Ý ÍøÇò³¡ ×ðÈݸ߶û·ò ͬ´´°ÂÍøÖÐÐÄ£¨ÖØÇ죩 ±±º£µÀ½¡ÉíÐÝÏлáËù

Õþ¸®»ú¹Ø ¿ÆÔ°¶þ·ÉçÇøίԱ»á ÖØÇìÊй«°²¾Ö¸ßм¼Êõ²úÒµ¿ª·¢Çø·Ö¾Ö ÖØÇìÊн»Í¨Õ÷·Ñ»ü²é¾Ö»ü²é×Ü¶Ó ÖØÇìÊй«°²¾Ö½»ÄܹÜÀí¾Ö ½»Í¨»ü²é¾Ö »¯Ñ§¹¤³Ì¼¼Êõ²©Ê¿ºó¿ÆÑÐÁ÷¶¯Õ¾

×ÛºÏÉ̳¡ ÆÕÀû˹ͨÂÖÌ¥ ÌÚîÒÑŹ¤Òµ()ÓÐÏÞ¹«Ë¾ ºèÑóÉñº£ÑóÂÌɫʳƷרÂôµê ÌÚîÒÑŹ¤Òµ()ÓÐÏÞ¹«Ë¾ Ñî¼Òƺ²Ì´®´®·Öµê ¸£½¨ºèʢʯҵ