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ÎÄ»¯½ÌÓý »¥°ï¼ÝУ ÆôÃ÷Ó׶ùÔ° ÈýÏ¿ÁªºÏÖ°Òµ´óѧ Õý´óÈí¼þѧԺ ÖØÇìµÏ°²²â¿Øϵͳ¹¤³ÌÓÐÏÞ¹«Ë¾ ÖØÇì΢ϵͳ(MEMS)¿Æ¼¼¹É·ÝÓÐÏÞ¹«Ë¾

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Ô˶¯³¡¹Ý ³¿¹â½¡ÉíÖÐÐÄ ±±º£µÀ½¡ÉíÐÝÏлáËù ×ðÈݸ߶û·ò

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