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ÉÌÎñ´óÏà ÖØÇìÕ¹ÀÀÖÐÐÄ °Ù¿Æ´óÏÃ(ÖØÇì) ÕÑ»ª´óÏÃ(ÖØÇì) ½ð¹Ú´óÏÃ(ÖØÇì) ½ð¹ûÔ°D1ÉÌÎñÂ¥ ½ð¹ûÔ°µÚ¶þÉÌÎñÂ¥

ÎÄ»¯½ÌÓý ÖØÇìÉúÎïÉú»¯ÖÆÒ©¼¼Êõ¿ª·¢Ô° ÖØÇìµÏ°²²â¿Øϵͳ¹¤³ÌÓÐÏÞ¹«Ë¾ ÖØÇì΢ϵͳ(MEMS)¿Æ¼¼¹É·ÝÓÐÏÞ¹«Ë¾ »¥°ï¼ÝУ ÈýÏ¿ÁªºÏÖ°Òµ´óѧ ºéÑô¼ÝУ

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