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²ÍÒû·þÎñ ´ó°×¾¨º£Ïʵº(¿ÆÔ°µê) ԴζÐù ´¨²ËÔÁ²Ëº£ÏÊ öÎÕ×Ô°¾ÆÂ¥ ÁõÊϺĶùÓã»ð¹øµê öÎÕ×Ô°´ó¾ÆÂ¥

µØ²úСÇø ·á»ªÔ°Ð´×ÖÂ¥ ½ð¹Ú´óÏÃ(¿ÆÔ°ËĽÖ) ½ð¹ûÔ° ½ð¹ûÔ°K1ÉÌÎñÂ¥ ¿ÆÔ°ËÄ½Ö ½ð¹ûÔ°´óÏÃ

¹«Ë¾ÆóÒµ ÖØÇ켯ÖǵçÆø×Ô¶¯»¯ÓÐÏÞ¹«Ë¾ ¶«ÁúÆû³µÏúÊÛ¹«Ë¾ ɽ½­»õÔËÓÐÏÞ¹«Ë¾ ÖØÇìºì¶¼»õÔËÓÐÏÞ¹«Ë¾ ÖØÇì¸ßÌì¿Æ¼¼ÓÐÏÞ¹«Ë¾ ºãÀûµäµ±

½»Í¨ÉèÊ© ³Â¼ÒƺÁ¢½»[»úµçÊг¡] ÍâÔËÍ£³µ¿â »ªÐù· ÓåÖÝ·[²ÊµçÖÐÐÄ] ½ð¹ûÔ°Í£³µ¿â ½ð¹Ú»úµçÊг¡³µ¿â

½ðÈÚÐÐÒµ ÖйúÐźÏATM Å©ÒµÒøÐоÅÁúÆÂÖ§Ðг¼Òƺ·ÖÀí´¦ ½¨ÐÐATM»ú(³¯Ìï´å) ÖйúÈËÃñ·ÇÊÙÏÕ¹«Ë¾ÔÆÑôÏØÖ§¹«Ë¾ ÖØÇì½ð걿Ƽ¼ ½»Í¨ÒøÐÐATM»ú(ÓåÖÝ·)(1)

ÂÃÓξ°µã ¿Æ¼¼»áÕ¹ÖÐÐÄ ÖØÇ쾯²ì²©Îï¹Ý

ÆäËüÀàÐÍ ÄÌBB³èÎïµê ɳɳȮҵ

Æû³µ·þÎñ Öé·åÆû³µ³Ç ½ð¹ÚÃû³µÊÀ½ç ÐËÊ¢ÂÖÌ¥¾­Óª²¿ ÖØÇì·áÌïÆû³µÎ¬ÐÞ·þÎñÓÐÏÞ¹«Ë¾ »úÆ÷Áã¼þÐÞÀí ÖØÇìÓ嶼·áÌïÆû³µÏúÊÛ·þÎñÓÐÏÞ¹«Ë¾

ÉÌÎñ´óÏà ÖØÇìÕ¹ÀÀÖÐÐÄ ÕÑ»ª´óÏÃ(ÖØÇì) Æû³µ¼¼ÊõÕ¹ÀÀ½»Á÷ÖÐÐÄ(ÖØÇì) ½ð¹ûÔ°D1ÉÌÎñÂ¥ ÖØÇìµçÐÅʵҵ´óÏà ½ð¹Ú´óÏÃ(ÖØÇì)

ÎÄ»¯½ÌÓý ÖØÇìµÏ°²²â¿Øϵͳ¹¤³ÌÓÐÏÞ¹«Ë¾ ÖØÇìÊÐÆû³µÑо¿Ëù »¥°ï¼ÝУ ÖØÇì΢ϵͳ(MEMS)¿Æ¼¼¹É·ÝÓÐÏÞ¹«Ë¾ ÆôÃ÷Ó׶ùÔ° Òæ´ï¼ÝÊ»ÅàѵÖÐÐÄ

ÐÝÏÐÓéÀÖ ÌÒ»¨Ô°×ãÔ¡ ÌÒ»¨Ô°ÐÝÏÐÖÐÐÄ ½£ÐÇÍø°É ³¤´ºÌÃÐÝÏÐÖÐÐÄ ÌìÌì±£½¡ °ÍɽÓïÁÖ²èÂ¥

Ò½ÁÆÎÀÉú »ªÎ÷¸¾¿ÆÒ½Ôº(ÖØÇì) ³¤´ºÌÆÉ£Äñ£½¡ ÖÐÒ½ÕïËù Í©¾ý¸ó´óÒ©·¿(¾ÅÁúÆ°˵ê) ÖØÇì·çʪҽԺ ¿ÆÔ°ÕïËù

ÓÊÕþµçÐÅ ÖØÇìÒƶ¯Í¨ÐŹ«Ë¾ ÖйúÁªÍ¨ÄÏ·½»¨Ô°ÓªÒµÌü ÖйúÓÊÕþ´¢Ðî ÖйúÁªÍ¨¸ßеÄÇø×ÛºÏÓªÒµÌü ÖйúÁªÍ¨¸ßÐÂÇø×ÛºÏÓªÒµÌü ÖйúÒƶ¯Í¨ÐÅÄÏ·½»¨Ô°AÇøÓªÒµµãÐÄÁ¬ÐÄ¿Í»§·þÎñÖÐÐÄ

Ô˶¯³¡¹Ý ×ðÈݸ߶û·ò ³¿¹â½¡ÉíÖÐÐÄ ±±º£µÀ½¡ÉíÐÝÏлáËù

Õþ¸®»ú¹Ø ÖØÇìÊйú¼ÒË°Îñ¾Ö³µÁ¾¹ºÖÃË°Õ÷ÊÕ·Ö¾Ö ÖØÇìÊиßÐÂÇø¹¤ÉÌ¾Ö ÖØÇìÊй«°²½»Í¨¹ÜÀíµÚÊ®°ËÖ§¶Ó ¸ßÐÂÇø¹úÍÁ·¿¹Ü·Ö¾Ö ÖØÇìÊиßм¼Êõ²úÒµ¿ª·¢Çø·µÆ¹ÜÀíËù ¸ßÐÂÇøÈí¼þÔ°

×ÛºÏÉ̳¡ µç»°³¬ÊÐ ¼ªÔƳ¬ÊÐ ÖØÇì²ÊµçÖÐÐÄ ÒÀ¿Ë˹µçÄÔÓÐÏÞÔðÈι«Ë¾ ÏãÑ̸±Ê³Æ½¼Û³¬ÊÐ »ªÇ¿µçÄÔ¾­Óª²¿