ÖØÇì����Ԥ�� ÖØÇì��������ָ��
�ܱ���Ϣ

±ö¹Ý¾Æµê ÓåÑÅÕдýËù Èç¼Ò¿ì½Ý¾Æµê(ÖØÇìʯÇÅÆ̵ê) ¼ªË³ÕдýËù ¾¢Á¦¾Æµê£¨ÖØÇ죩 ÄÏ·½»¨Ô°¾Æµê£¨ÖØÇ죩 ÖØÇìÎ÷ÑǾƵê

²ÍÒû·þÎñ Üö¸£Ô´»ð¹øµê Éîɽ¾úÍõ ´ó°×¾¨º£ÏʵºÖØÇì×ܵê ÆßÊ®¶þÐÐÃñË×¾ÆÂ¥(ÄÏ·½»¨Ô°µê) ԴζÐù ÁõÊϺĶùÓã»ð¹øµê

µØ²úСÇø ¸ßÐÂÇøÈí¼þÔ° ½ð¹ûÔ°(ÖØÇì) ½ð¹ûÔ°´óÏà ¿ÆÔ°·þÎñ´óÏà ·á»ªÔ°Ð´×ÖÂ¥ ½ð¹ûÔ°

¹«Ë¾ÆóÒµ ɽ½­»õÔËÓÐÏÞ¹«Ë¾ ÖØÇ켯ÖǵçÆø×Ô¶¯»¯ÓÐÏÞ¹«Ë¾ ÖØÇì±±º½Æû³µÓÐÏÞ¹«Ë¾ ÖØÇìÈýÐÇ»õÔË ÌìÕÂֽƷÎïÁ÷ÖÐÐÄ ÖйúΫ·»²ñÓÍ»ú³§Î÷ÄÏ´úÀí

½»Í¨ÉèÊ© ¶«·½µçÆøÍ£³µ³¡ ³Â¼ÒƺÁ¢½»[»úµçÊг¡] ¿ÆÔ°ËÄ½Ö Öé½­»ªÐùÍ£³µ¿â ÖØÇ컪´ïÔËÊäÓÐÏÞ¹«Ë¾ ½ð¹ûÔ°Í£³µ¿â

½ðÈÚÐÐÒµ Öйú¹â´óÒøÐÐÖØÇìÊзÖÐиßÐÂÖ§ÐÐ ÖйúÐźÏÖØÇìÊоÅÁúÆÂÇøʯÇÅÅ©´åÐÅÓÃÉ绨԰··ÖÉç ½»Í¨ÒøÐÐATM»ú(ÓåÖÝ·)(1) ÖйúÈËÃñ·ÇÊÙÏÕ¹«Ë¾ÔÆÑôÏØÖ§¹«Ë¾ Å©ÒµÒøÐоÅÁúÆÂÖ§Ðг¼Òƺ·ÖÀí´¦ ½¨ÐÐATM»ú(³¯Ìï´å)

ÂÃÓξ°µã ÖØÇ쾯²ì²©Îï¹Ý ¿Æ¼¼»áÕ¹ÖÐÐÄ

ÆäËüÀàÐÍ ÄÌBB³èÎïµê ɳɳȮҵ

Æû³µ·þÎñ Öé·åÆû³µ³Ç ÖØÇì×ÚÉ꼯ÍÅÖé·åÆû³µÏúÊÛ¹«Ë¾ ½ðÁ⼯ÍÅÖØÇìÁ¢ÈËʵҵÓÐÏÞ¹«Ë¾ ½ð¹ÚÃû³µÊÀ½ç ÖдﱦÂíÆû³µÌØÔ¼¾­Ïú ÖØÇì·áÌïÆû³µÎ¬ÐÞ·þÎñÓÐÏÞ¹«Ë¾

ÉÌÎñ´óÏà ËÄ´ï´óÏÃ(ÖØÇì) ½ð¹ûÔ°D1ÉÌÎñÂ¥ °Ù¿Æ´óÏÃ(ÖØÇì) ½ð¹Ú´óÏÃ(ÖØÇì) ¹ú¼Ê»áÕ¹ÖÐÐÄ ÕÑ»ª´óÏÃ(ÖØÇì)

ÎÄ»¯½ÌÓý ¸ßÐÂÇø¿ÆÒÕÓ׶ùÔ° ÖØÇì΢ϵͳ(MEMS)¿Æ¼¼¹É·ÝÓÐÏÞ¹«Ë¾ ºéÑô¼ÝУ ÖØÇìµÏ°²²â¿Øϵͳ¹¤³ÌÓÐÏÞ¹«Ë¾ ÈýÏ¿ÁªºÏÖ°Òµ´óѧ ÖØÇìÉúÎïÉú»¯ÖÆÒ©¼¼Êõ¿ª·¢Ô°

ÐÝÏÐÓéÀÖ ÁáÁá·¢ÒÕ ÌÒ»¨Ô°ÐÝÏÐÖÐÐÄ ÃÀÈÝÃÀ·¢°´Ä¦ ½£ÐÇÍø°É ÌÒ»¨Ô°×ãÔ¡ ÌìÌì±£½¡

Ò½ÁÆÎÀÉú ÖܱöÕïËù ¿ÆÔ°ÕïËù Í©¾ý¸ó´óÒ©µê¾ÅÁúÆÂµÚ°Ë·Öµê ²ýÒ°Ò©·¿ ²ýÒ°Ò©·¿¸ßÐÂÇøÖª¼ºÒ©µê ÖØÇì·çʪҽԺ

ÓÊÕþµçÐÅ Âí¼Ò±¤ÓÊÕþËù ÖйúÁªÍ¨ÄÏ·½»¨Ô°ÓªÒµÌü ÖйúÒƶ¯Í¨ÐÅÖØÇ컥ÁªÍøÊý¾ÝÖÐÐÄ ÖØÇìÒƶ¯Í¨ÐŹ«Ë¾ ÖйúÒƶ¯Í¨ÐÅÄÏ·½»¨Ô°AÇøÓªÒµµãÐÄÁ¬ÐÄ¿Í»§·þÎñÖÐÐÄ ÖйúÓÊÕþ´¢Ðî

Ô˶¯³¡¹Ý ³¿¹â½¡ÉíÖÐÐÄ ±±º£µÀ½¡ÉíÐÝÏлáËù ×ðÈݸ߶û·ò

Õþ¸®»ú¹Ø ÖØÇìÊйú¼ÒË°Îñ¾Ö³µÁ¾¹ºÖÃË°Õ÷ÊÕ·Ö¾Ö Õ¼µÀÍ£³µ¹ÜÀíËù ÖØÇìÊйúË°¾Ö³µÁ¾¹ºÖÃË°Õ÷ÊÕ·Ö¾Ö ¸ßÐÂÇø¹úÍÁ·¿¹Ü·Ö¾Ö ¸ßÐÂÇøÈËÁ¦×ÊÔ´·þÎñ¹ÜÀíÖÐÐÄ ÖØÇìÊÐÖÊÁ¿¼¼Êõ¼à¶½¾Ö¸ßз־Ö

×ÛºÏÉ̳¡ ÃúÖ¾µçÄÔ¾­Óª²¿ ÖØÇì²ÊµçÖÐÐÄ »ªÇ¿µçÄÔ¾­Óª²¿ άÐÞ²¿ µç»°³¬ÊÐ ÏãÑ̸±Ê³Æ½¼Û³¬ÊÐ